愛發(fā)科真空泵油的特點以及應用

　　目前，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用愛發(fā)科真空泵油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。下面小編就和大家介紹關于愛發(fā)科真空泵油的特點以及應用的內(nèi)容，歡迎閱讀！

愛發(fā)科真空泵油的主要特點：

　　1.蒸汽壓力極低

　　2.適當?shù)恼扯群土己玫恼扯葴囟忍匦?/p>

　　3.良好的熱氧化安定性

　　4.具有很強的耐腐蝕性和抗乳化性。

愛發(fā)科真空泵油的應用：

　　1)多晶硅制備工藝中低壓化學氣相沉積；

　　2)半導體蝕刻工藝。腐蝕性氣體和研磨顆粒常用于這些生產(chǎn)過程中；

　　3)除了半導體工藝外，一些產(chǎn)生顆粒的工藝不希望顆粒與泵油混合，但如果希望顆粒從泵中排出，一定類型的干機械真空泵可以滿足要求；

　　4)蒸餾、干燥、脫泡、包裝等，在化工、醫(yī)藥、食品等行業(yè)，要防止有機溶劑造成污染，適用于干式真空泵；

　　5)前級泵用作一般無油清潔真空系統(tǒng)，防止油污。

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